Los dos especialistas en sistemas de gestión de obleas, mechatronic systemtechnik y ProTec Carrier Systems (PCS), han afianzado su colaboración en el campo de la gestión de sustratos delgados mediante la tecnología T-ESC®

La tecnología T-ESC® se basa en el uso de campos electroestáticos para aplicar una fuerza eléctrica sobre materiales incluso de baja conductividad. Los portadores electroestáticos móviles (T-ESC®) desarrollados por PCS pueden construir un campo y sobre todo bloquear sustratos delgados (

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