Los dos especialistas en sistemas de gestión de obleas, mechatronic systemtechnik y ProTec Carrier Systems (PCS), han afianzado su colaboración en el campo de la gestión de sustratos delgados mediante la tecnología T-ESC®
La tecnología T-ESC® se basa en el uso de campos electroestáticos para aplicar una fuerza eléctrica sobre materiales incluso de baja conductividad. Los portadores electroestáticos móviles (T-ESC®) desarrollados por PCS pueden construir un campo y sobre todo bloquear sustratos delgados (< 50µm) durante un largo periodo de tiempo (hasta 50 horas) al aplicar la denominada fuerza de Coulomb.
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- Business Wire
